为什么ITO薄膜高温后电阻率上升
作者：管理员    发布于：2017/7/14 14:45:40    文字：【大】【中】【小】
为什么ITO薄膜高温后电阻率上升
ITO 薄膜高温处理的目的一般是为了提高薄膜的透过率,但是同时也会引起电阻增加,这就是一个平衡的问题了.但是一般电阻不会增加太多,应该在可以接受的范围.如果增加太多,可以考虑通一点氧气,或者调整一下镀膜时氧气流量.lmxzsu2009 at 2009-9-03 20:31:13RE：在高温下退火后,ITO非晶膜的原子重组,形成比较稳定的多晶结构,ITO薄膜的晶粒变大而且均匀,从而影响了导电性能.具体原理参照半导体物理的内容
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